驾驶在国家和城市是完全不同的经历。在这个国家,有这么小的交通,你真的不需要太多的规则。道路相交,也许有停车标志,也许不是;我们估计你会方法和谨慎行事(除非你是正义前锋)。如果人们开始进入该地区,交通繁忙,那么至少有一个相交的道路需要一个停车标志,以避免彻底的混乱。如果事情继续增长,汽车不能越过停车标志,因为cross-traffic没有缺口,然后一个红绿灯在调节时,给每个人一个公平的机会。随着密度的增加,通常出现的网格模式,至少在小集中地区,如果不是整个城市(除非你是波士顿)。左转弯变得更难,所以保护都留给灯上。现在十字路口的复杂信号规则,整个周期需要一段时间,试图让交通流畅-理想与定时灯光变得越来越不容易处理的。在某种程度上,事情就变得太复杂,必须放弃很多东西,或者其他的交通将会停滞不前。 So you abandon one direction of flow, going with one-way streets. By giving up one degree of freedom on a given street, the overall problem of managing traffic in the area becomes simpler. You may not be able to get to a given place by the most direct route, but you can still get to your destination, even if by a less direct route.
这是组织创新的方法提出了解决越来越复杂的试图揭露和模式越来越小的几何图形使用波长的光,几乎停留在一个地方。的承诺扩展紫外线(EUV——sssssshhh…不要称之为x射线! !)仍很遥远,不会到达时间节点款甚至不止于此。组织提出的问题解决与任意的接触复杂的交互模式和搬到double-patterning的挑战。
随着特征尺寸下降明显低于暴露的波长光,越来越麻烦的干扰影响。光学邻近校正(OPC)是一个大问题,和如何制定不同的规则几何图形互相靠近了坚果,在所需的规则和建议的规则(通常成为下一代所需的规则)。在某种程度上,交通有可能停滞不前。
与此同时,一个标准的方法来减少通过double-patterning维度。有各种各样的方法,但是他们都通常涉及将一个给定的掩模图形分解为两组交叉的特点。事实上,你可以扩展到三倍或更多的模式。说,最简单的方法是让50纳米间距均匀地通过分割模式(一分钟),做两个100 nm曝光,另一组之间的一组功能交叉。您也可以将模式划分为三个,三个150 nm曝光。关键是能够独立的所有功能的面具为多个独立集,其中没有一个比,更接近100海里(double-patterning例子)。这是一个简单的任务为任意的几何图形。它有时被称为“着色问题”——就和一支钢笔和一个餐巾坐下来开始画线连彼此至少维度,然后尝试使用两种颜色分开成线会出现在两个不同的面具。你会发现它很容易想出的组合,不能有色为两组的两倍。发现模式,可以通过算法分解EDA工具更加困难。
这里我们有两个问题造成的任意创建模式:太多的光学double-patterning复杂性和无法分解。在这一点上,组织创新建议我们需要删除一个方向的流量。现在,对于任何好(或糟糕)比喻,我们到达的地方是,它分解。什么正在消除组织的方法是整个维度:面具而不是二维模式,只允许一维模式,严格网格基础上。这意味着给定多边形或金属屏蔽,例如,只会要么南北或东西。在城镇的中心,就像两个错误不能构成一个正确但左三个权利,你仍然可以得到你想要的地方;你可能要跳一个金属层在另一个维度。是否证明问题尚未见过;组织已没有实际限制日期需要使用造成的另一层移动在一个直角。这种方法已经被用在一些NAND闪存细胞,但组织正试图把它移到主流的逻辑。
从光学的影响交互角度来看是更大的规律性和可预测性。这意味着很少,如果有的话,奇怪的光学构件创建意外实例桥接和柱头。有更好的变化控制,可以使用更激进的布局,减少细胞区域。在一组实验中,发现变化减少了4-16X相比不同的二维模式。实现没有桥接或柱头“热点”使用二维模式意味着使用推荐的设计规则,细胞面积增加了10 - 15%的面积被required-design-rule-only方法;相比之下,使用一维方法实现没有热点,平均节省5%的区域。减少变化的另一个好处是减少漏电流:变异性倾向于支持分布窄的一面,意味着更多的漏水的功能。控制变异性降低漏水的实例的数量;一个测试用例泄漏减少了2.5倍,同时面积减少15%。
关于double-patterning,这个问题就简单了。因为任何给定的层包含行只有一个方向,这是一个简单的问题选择每隔一行将面具分解成两个曝光。
组织的业务方法,这是IP供应商和服务提供商,部分供应商的工具。他们有一个编写系统使用自己与他们的客户合作,定义感兴趣的细胞。他们创建细胞和出来,然后与客户合作,将其集成到他们的细胞库。客户也会创作工具的修改和细胞的最终所有权。目前还不清楚他们会从头编写工具提供给客户使用。他们目前关注标准逻辑单元;他们从那里将集中在SRAM细胞,细胞I / O和模拟。这将是有趣的,看看模拟形状可以符合一个基于网格的方法还是层以外的涉及角度90度是必需的。
剩余的挑战是让现有的路由器只使用所需的尺寸时一起把所有的细胞。现在的方法是应用非常高成本操作错误路线,这样实际上路由器永远不会选择他们。组织正在与EDA供应商提出更多的按钮的方法来确保所有路由的路由器只使用指定维度层。
组织已经做了65 nm芯片,他们现在有一个45 nm制程芯片与领先客户工厂,这样他们可以得到更多的变化数据。这个测试芯片应该是这个月的某个时候。
