我们看极端紫外线(EUV)光刻一会回来,但我故意掩盖了一个重要的方面:EUV能量的来源。这是一个值得关注的主题,在这方面有多年的研究和一些最近的进展,可能需要一个新的方向。我不知道,它有点酷。

EUV意味着高能源,所以你真的要喋喋不休的废话一些材料为了让它摆脱高能光子。我们不只是谈论沸腾或烧烤;我们说的等离子体。,问题是,这并不是简单的拍摄几个光子在一些电影像你的牙医(x射线,甚至最高的)。正如我们之前看到的,真正的挑战在于更多的权力,这样更多的晶片可以更快地暴露。

有两个基本方法,得到了材料摆脱能源的EUV范围。第一个叫做discharge-produced等离子体(民进党)。用这种方法,你用低温等离子体和夹磁高温等离子体。另一种方法叫做laser-produced等离子体,或垂直距离。在这种情况下你轰炸目标激光材料。

系统的有效性的一个重要措施是转换效率(CE)。简单地说,这是比你离开的EUV能量系统的除以能量用于生产EUV。这些数字并不高——不到10%。与民进党,它甚至可能被夸大,因为,根据数据的来源,其CE显然可能不包括电气支持系统所需的能量。一般来说,据说这是容易“墙实力”转换为一个激光脉冲,因此垂直距离通常较低的开销。

典型的材料,至少在研究,包括氙、锡和锂。氙通常给低CE;它只是需要太多的精力,特别是冷却,民进党。你甚至不能得到一个激光足够强使用垂直距离氙(我不是专家,但向气体激光就感觉不是很有效的…)。

锂有CE范围2 - 3;锡的理论CE 4 - 7.5%左右。与垂直距离、锡创建碎片的附加问题,可以打乱光学,你可能记得都是镜子而不是镜头。创建一个维护和磨损的问题。

这两种方法,研究论文在过去的几年,但在西方国家半导体,播放器技术提出了第三种选择,他们称之为激光辅助放电等离子体(自民党)。正如它的名字暗示,他们声称,这种方法结合了他们的学习从垂直距离和民进党的元素。

自民党的机械安排离开明显从它的祖先。它由两个反向旋转的轮子,浸入液体锡槽。车轮有效地形成一个夹点位置的最亲密的距离。轮子的边缘涂上液态锡,锡是受到激光的车轮在夹点。创建一个放电到其他轮子,放电生成EUV光子。

有很多事情在这里一起工作来满足许多元素必须属于这样的一个系统正常运行,和液体锡扮演的角色。首先,你需要对放电电极:液态锡充当电极两侧的夹点。

其次,为了得到一个弧跨越的差距,你必须有一个字段。字段是由一个电源,激发这两种液态锡浴。构建一个完整的电路从bath-to-rim-to-spark-to-rim-to-bath(图中的绿色通道)。

第三,这个东西变热。好吧,实际上,它开始热——我们说的液态金属,所以它不是完全不温不火的巧克力你的幼儿园。但我们也注入更多的能量,所以它必须冷却移除能量。电极在一个旋转的车轮这一事实意味着just-heated-up部分电极远离的差距(,取而代之的是一个不同的液态锡),陷入了不错,凉爽清新沐浴滚烫的液体少锡,这本身就是最终散热冷却。它是液体意味着循环可以帮助冷却过程。

最后,轮子本身需要保护在整个生产过程中被消耗。在这里,锡涂层的边缘轮提供保护(一边阳极,阴极),保持车轮这整个一个无辜的旁观者。

给你这是怎么回事,在云中Corthout先生说,锡的差距,20 kA排放在200 ns。这样做是每秒10000次——物理允许它以10倍的速度完成。

他们建造的单位,像大多数的设备建立到目前为止,针对试点行各样的使用——这不是一个大批量生产(HVM)单元。他们已经创建了一个架构生产单位,但仍有扩展问题处理——他们声称,他们已经得到控制,计划和团队解决它们。

但是,即使这不是最后的生产模型,仍然是一个野兽。坦率地说,这样子的东西逃出来的外星人(s)。他们有一个安装在imec连同其他几个人,他们内部的工作。

图像(以及主要文章图像)的极限技术,GmbH是一家

他们声称的长和短

• 它是更有效率,墙上插座的能量直接转化成EUV(尽管显然是有很多支持的东西,如加热和冷却液锡);,尽管它的残忍的行为,实际上是小于替代;
• 它是清洁的选择,提供更好的保护光学、扫描仪,和分划板;
• 他们可以更好的处理垃圾,这意味着光学持续时间更长。

如果这些说法真的证实,他们总结说这将是技术的首选EUV来源并不显得那么牵强。(好吧,至少直到有人想出更好的…)

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