的一件事关于碳纳米管作为晶体管是电流通过他们进入的问一些其他物质——典型的金属。结,事实证明,可以产生重大阻力。根据一篇文章由佐治亚理工学院和麻省理工学院的一个小组(Songkil金等),对单壁问(SWCNT)连接到金属,约65 kΩ的量子极限。
多壁碳纳米管(热合)可以提供多少抵抗力更弱连接,但如何低取决于你如何做。溅射和蒸发只让你3 - 4 kΩ最好的情况下,没有污染。你可以低至700Ω使用TEM-AFM和nano-manipulation +电阻加热,但这不是一个可行的商业过程。
该团队使用E-beam-induced沉积(EBID),本质上是一个本地化的CVD,气体的分解与伟大的控制使用电子束。第一个石墨化的整体过程由无定形碳,然后形成连接。
退火非晶碳石墨被证明是一个挑战。他们尝试使用当前创建焦耳加热,但它是难以控制:随着退火的进展,电阻下降,推动当前和导致失控,可能造成损害。所以他们去烤箱。他们必须保持温度为350°C,石墨化的温度开始,保持碳纳米管在高温氧化。
为了连接多个墙壁形成金属,他们指示连接点附近的电子束。起初他们目标略短的连接,使用后向散射内壁连接——像一个篮球上篮。然后他们直接关注连接来完成它。
这是随后的退火。
结果如下:
- 在接触之前,阻力在GΩ范围。
- 如果只有外墙连接,他们得到了一个3.8 -kΩ连接。
- EBID过程仅从GΩ到300年kΩ带来了阻力。
- 10分钟退火在350°C降至1.4 kΩ带来了阻力。
- 进一步20 - 25分钟退火带电阻一直到116Ω。
注意,我所知,这个过程没有使用的团队,创造了第一次问子系统globalfoundries最近报道。
你可以找到更多的细节发表论文,但请注意,这是收费。