covenor最近宣布了MEMS+的最新版本,他们的MEMS EDA/CAD工具,时机很艰难,因为它就在我刚刚有一个涉及过程设计工具包(PDKs)的文章。最新的MEMS+发布带来了MEMS PDKs (mpdk)的发展。
当然,MEMS器件是臭名昭著的,因为它逃避任何通过标准化来捆绑工艺和设计选项的尝试。努力仍在继续,但仍然是一个挑战。
这意味着任何MEMS设计都涉及特定晶圆厂(自产或代工)和设计人员之间的合作,以提出满足特定新传感器或执行器要求的物理设计。对于一些新设计所做的可能与过去所做的没有任何关系。材料可能会改变,尺寸和形状可能会改变,电路和封装可能会改变。所有的票据。
covenor表示,随着MEMS+的最新发布,他们正在将pdk用于成熟的传感器——imu,基于Leti的设备MnNEMS过程,以及压电器件。MPDK还没有标准化,但是硅电路pdk也花了很长时间才走向标准化。
因此,covenor最初一次与一家晶圆厂和EDA公司合作,从XFAB和Cadence开始。您可能还记得在硅方面,避免每个工具/代工组合不兼容pdk的第一步是由单个代工统一所有工具的pdk。因此,最初,例如,台积电的pdk是不同的Cadence, Synopsys和Mentor工具,然后台积电努力统一格式。
但这一结果只适用于台积电;GlobalFoundries和其他晶圆厂将有自己的格式,即使跨工具统一。这是OpenPDK项目自2010年以来一直在解决的问题。
考文特认为,mpdk很可能会走这条路。如果过去的教训能让我们绕过一些重复的努力,那就太好了。例如,如果XFAB做了一些事情,那么使用它作为其他人的基础当然会很好,分层进行更改和泛化,而不是从头开始,甚至将仅支持XFAB的MPDK变成类似但不兼容的仅支持其他人的MPDK。
你可以在covenor的MEMS+ 6.0中阅读更多关于这个和其他新功能的信息公告.