改变晶圆尺寸是一件大事。你可以和你所有的旧设备说再见,然后迎来一个全新的套房。那么,当您计划将该晶圆尺寸用于新技术节点时会发生什么呢?你真的不想有两套生产设备,每一边一个晶圆大小的转移。但在开发新技术节点的同时开发新的晶圆尺寸也很困难。这就是风险之上的风险。
我和Semicon West公司的Ludo Deferm谈过,当时450毫米手枪风靡一时。但这种兴奋显然是关于未来的事情:目前还没有太多可用的设备;只有一种——KLA-Tencor空白晶圆计量单元-已经宣布了。这样就能确保你从一个好的空白晶圆开始。剩下的还没有到来。
imec认为14nm是450mm的起始节点。但是imec刚刚得到政府帮助的450毫米研发设施不会得到政府的帮助开始直到2014年——你可以计算一下它什么时候可能会开始运行。因此,如果我们在开发14纳米技术之前必须等待,我们将会有很长的路要走。
事实上,imec正在进行14nm的300mm晶圆开发工作,只是该设备不会用于生产。只是为了让这个过程本身启动。显然,当新的450毫米装备准备就绪时,它将需要一些更新。到那时,他们将已经开发出10纳米节点。
作为一个奇怪的附带事实,他指出,一个200毫米的洁净室实际上比450毫米的设施更昂贵。那是因为,那时候,整个房间都必须是干净的。现在所有东西都密封在foup里,所以,虽然把泥带进房间或吸烟可能不是一个好主意,但房间的清洁水平实际上比以前低了。然而,在设备内部,对最轻微的闯入者几乎没有宽恕。
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