当去年我们跟Cymer,他们刚刚宣布了他们前脉冲技术让更多的能源的水滴他们用激光爆炸。他们已经达到了50 w的输出。

这只是生产所需的一半,,当时,这是一个“开环”的结果。也就是说,不是可以重复一遍又一遍地在生产环境中。

在我与他们讨论半导体西方,他们现在有50 W在持续工作,闭环基础(5小时)。他们取得了90 W在短暂的开环。

但也有很多其他的特征除了简单的力量是重要的生产可行性。

• 工作周期:系统运行一段时间后,加热。字面上。和许多的原因,他们必须让机器休息一下或者卷了。现在他们运行在40%的关税周期;他们努力使(近)100%。
• 剂量稳定:他们五个小时运行导致了90%的骰子有剂量误差不到1%。
• 可用性:如果机器总是或需要大量的维护,这是一个问题。他们现在声称70%的正常运行时间。
• 收集器寿命:在某种情况下,脉冲的狂轰滥炸,收集器将开始失去反射率。它将需要更换——这意味着停机时间和成本。到目前为止,他们说他们已经超过300亿脉冲没有看到任何反射率下降。

同时,努力增加权力取决于三个因素:输入功率,“转换”效率——有多少输入功率脉冲释放滴,和收集器效率。

他们前脉冲技术满足第二项;他们的努力在这一点上在增加输入功率(他们已经证明了17个千瓦)和提高集电极效率。这发生在他们所谓的“HVM II”模型,这是现在被集成。

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